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真空微电子研究所

发布日期:2016-01-06  浏览次数:

    真空微电子与微电子机械研究所——Institute of Vacuum Microelectronics & Microelectro-mechanical System简称Institute of VME & MEMS, 成立于1994年.是中国电子学会场致发射与真空微电子学专业委员会挂靠单位、现是陕西省电子学会纳米技术专业委会和西安纳米科技学会挂靠单位,也是微电子学与固体电子学博士后流动站的站点。研究方向包括:场致发射与真空微电子学、纳米电子材料和器件、MEMS、声表面波器件等。在低维纳电子材料的制备及其新型器件的开发方面取得了丰富的研究经验和技术积累。如2000年研制出国内首批碳纳米管FED原型器件;被中央电视台“现在播报”报道。2003年开发出6.1英寸具有动态图像显示功能的碳纳米管FED样屏;开发出5.5英寸具有动态图像显示功能的三基色碳纳米管FED样屏;相关成果获陕西省科技进步二等奖。研究所包括院士1名,教授3名,副教授3名,讲师1名,拥有一个以王占国院士和王小力教授为学术带头人的年轻科研阵容。实验室拥有碳纳米管、石墨烯和氧化锌纳米线等的制备设备;拥有多台场致发射综合测试台等以及光调制场发射测试台和飞秒激光器。具有基础的器件加工制造设备和测试条件,拥有约200平方米的超净环境。在碳纳米材料为核心(包括碳纳米管、纳米金刚石以及氧化锌纳米线等)的纳米电子材料和器件研究方面形成了自己的特色。近10年研究所已经承担了国家“863”重点项目一项、国家自然科学基金重点项目和面上项9项、教育部博士点基金4项、教育部985项目4项、陕西省科技攻关重点项目3项、横向研究课题多项。其中关于碳纳米管场发射特性、碳纳米管平板显示器和碳纳米管气敏传感器的研究居于国内领先,某些方面居国际先进。近年来,该研究所在近年来在Nano Letters, Carbon, Applied physics Letters, Nanotechnology 等国际权威期刊发表学术论文发表论文400百余篇, 其中SCI收录论文100多篇。申请专利40多项,其中30多项已授权。获得国家发明奖1项,省部级奖11项,“碳纳米管场发射显示器”获2000年香港国际发明展览会银奖。所完成的国家科研项目评价很高,多评为优和良。用“声表面波器件实现小波变换的研究”获得2005年陕西省科技进步二等奖。

    研究所招收全日制微电子学与固体电子学专业学术型工学硕士和集成电路工程专业工程硕士。主要研究领域和培养方向

 1.基于低维纳电子材料的新型传感器件(新型仿生及生物医电传感器);

 2.真空微电子与集成真空电子学(微电子与真空电子的结合);

 3.面向未来集成电路应用的,基于低维纳米材料的新型电子器件,纳电子器件结构设计及器件物理;

      

 

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