张卫
日期：2016-01-07 点击数： 来源：
张卫，复旦大学教授、博士生导师。1984年9月至1995年5月就读于西安交通大学，先后获得学士(1988)、硕士(1991)和博士(1995)学位。1995年6月起在复旦大学做博士后，1997年5月留校任教，任副教授，1999年5月晋升为教授，2000年成为国务院政府特殊津贴获得者。2001年1月至2002年5月，以及2008年7月先后在德国开姆尼茨技术大学和汉诺威大学做访问学者(洪堡基金会洪堡学者)。
长期从事集成电路工艺、半导体器件和半导体材料的研究。担任“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大专项总体专家组专家、中国电子科技产业信息集团科学技术委员会专家委员、“长三角集成电路设计与制造协同创新中心”常务副主任、上海市电子学会副理事长、上海市战略性新兴产业科技创新推进专家委员会专家、西安交通大学微电子校友会副会长、复旦大学第六届校学术委员会委员。自1997年以来承担863、国家自然科学基金、国家重大专项、上海市重大重点项目等20多项，在集成电路先导工艺技术、新型半导体器件等方面开展了系统研究，并取得很多创新性成果。2013年由他领衔的科研团队研制出一种新型的微电子器件 ─ 半浮栅晶体管（SFGT），相关研究成果刊登于2013年8月出版的Science期刊上，被国际同行认为是器件领域的“一个巨大进步”，更被技术咨询公司评价为“半浮栅晶体管能够解决DRAM芯片面临的技术问题，有潜在的技术能力来替代DRAM”。2013年8月12日中央台的《新闻联播》头条专门对该成果进行了长达4分钟的报道。自1992年以来在Science，Scientific Report, Applied Physics Letters，IEEEElectron Device Letters，IEEE Tran. on Electron Devices,Journal of Applied Physics等国际学术期刊和会议上发表SCI论文200多篇，申请专利180多项，其中美国专利39项。
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